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反熔絲結(jié)構(gòu)和反熔絲陣列結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6899820

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本發(fā)明涉及一種反熔絲結(jié)構(gòu)和反溶絲陣列結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)傳統(tǒng)的半導(dǎo)體裝置(例如,傳統(tǒng)的半導(dǎo)體存儲(chǔ)裝置)可包括相當(dāng)大數(shù)量 的單元。即使一個(gè)單元有缺陷,半導(dǎo)體存儲(chǔ)裝置也可能不正常工作。如果半 導(dǎo)體存儲(chǔ)裝置不正常工作,則需要將其廢棄。這樣會(huì)降低(例如,嚴(yán)重降低) 產(chǎn)品良率。為了有助于提高產(chǎn)品良羊,傳統(tǒng)的半導(dǎo)體存儲(chǔ)裝置可包括用于替換有缺 陷的單元的多個(gè)多余單元(例如,預(yù)先形成的多余單元)。所述多個(gè)多余單元可包括多個(gè)備用行和多個(gè)備用列,其每個(gè)可形成在相隔幾個(gè)(例如,1 ,...
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