技術(shù)編號(hào):6902549
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明的實(shí)施例總體上涉及從碳化硅部件的表面去除晶體結(jié)構(gòu)的化學(xué) 溶液處理的使用,更具體地,涉及從用作半導(dǎo)體處理裝置的那種碳化硅部 件的表面去除受損晶體結(jié)構(gòu)的化學(xué)溶液處理的使用。背景技術(shù)這部分描述與本發(fā)明相關(guān)的背景技術(shù)。沒(méi)有明示或暗示的目的表明在 這部分所討論的背景技術(shù)在法律意義上構(gòu)成現(xiàn)有技術(shù)??垢g(包括侵蝕)是在腐蝕環(huán)境出現(xiàn)的半導(dǎo)體處理室中使用的設(shè)備 部件的重要特性,例如在等離子清潔和蝕刻工藝以及等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相 沉積工藝中。在高能等離子出現(xiàn)并且結(jié)合化學(xué)...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。