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技術(shù)編號：6902570

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本發(fā)明涉及對單結(jié)晶基板，玻璃基板等被處理體進(jìn)行加熱處理的熱處理裝置和方法，測定被處理體的溫度的方法，溫度測定程序及輻射溫度計。本發(fā)明適用于例如，在存儲器和集成電路(IC)等的半導(dǎo)體裝置制造中適用的快速熱處理(RTPRapid Thermal Processing)裝置。這里，RTP包含快速熱退火(RTA)，快速清洗(RTC)，快速熱化學(xué)氣相成長(RTCVD)，快速熱氧化(RTO)和快速熱氮化(RTN)等技術(shù)。背景技術(shù) 一般，為了制造半導(dǎo)體集成電路，要對半導(dǎo)...
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