技術(shù)編號(hào):6902571
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。背景技術(shù)本發(fā)明涉及一種蝕刻襯底和的室和方法。在襯底的制造中,一種處理氣體或者一種相同的等離子體,通常被用來(lái)處理在室中的襯底。典型地,通過(guò)例如化學(xué)氣相沉積法、物理氣相沉積法、離子注入法、氧化或者氮化處理將物質(zhì)形成在襯底上。據(jù)此,一些襯底物質(zhì)(通常是以層的形式,但是也可以具有其它形狀)可以通過(guò)例如蝕刻方法被處理,以形成具有空腔、通道、孔或者溝槽形狀的蝕刻部件(features)。在襯底物質(zhì)中蝕刻具有大的高寬比的部件是困難的,特別是當(dāng)部件也具有小開(kāi)口尺寸的時(shí)候。...
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