技術(shù)編號:6902879
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明的實施例一般涉及微機電系統(tǒng)(MEMS)開關(guān)。背景技術(shù)微機電系統(tǒng)(MEMS) —般指的是微米尺度的結(jié)構(gòu),該結(jié)構(gòu)能夠通過微制造技術(shù)將諸如機械元件、機電元件、傳感器、執(zhí)行器和電子器件等多個功能不同的元件集成在公共的襯底上。在微型的密封封裝體中的MEMS的尺寸范圍一般在微米到毫米之間。MEMS開關(guān)具有可動執(zhí)行器,該執(zhí)行器受安置在襯底上的柵或電極的影響而被移向固定的電觸點。開關(guān)。MEMS開關(guān)10包括襯底18、可動執(zhí)行器12、觸點16和機械地耦合到襯底18的控制...
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