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等離子處理裝置及處理方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6903815

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本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體器件的制造領(lǐng)域,尤其涉及。背景技術(shù)等離子處理是在半導(dǎo)體進(jìn)行微細(xì)加工所慣常用到的方法,被用于刻蝕、 成膜或其他需要等離子體參與反應(yīng)的工藝中。 傳統(tǒng)的等離子處理裝置包含導(dǎo)入反應(yīng)氣體的處理容器,以及在處理容器內(nèi)作為相 對(duì)配置的上部電極和下部電極。下部電極上設(shè)置半導(dǎo)體襯底,并通過(guò)在下部電極上加高頻 功率進(jìn)行激勵(lì),利用在上部電極及下部電極之間產(chǎn)生的等離子體使反應(yīng)氣體離解,通過(guò)由 此產(chǎn)生的自由基(radical)成分對(duì)半導(dǎo)體晶片進(jìn)行等離子處理。 作為等...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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