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金氧半晶體管的自對(duì)準(zhǔn)硅化物的制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6915543

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本發(fā)明涉及一種,特別涉及一種可降低漏電流(1eakage current)且不會(huì)降低崩潰電壓(breakdownvoltage)的硅化鈷(CoSi2)的制備方法。常見(jiàn)用以制備硅化層最常見(jiàn)的材料為鈦(Ti)金屬,其制備流程如附圖說(shuō)明圖1(a)至1(d)所示。首先,提供一具有金氧半晶體管的硅基底101,如圖1(a)所示。該金氧半晶體管包括一柵極(gate structure)103、位于該柵極103的側(cè)壁的間隙壁(spacer)104、位于該柵極二旁的源極/漏...
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