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周壁設(shè)有從動件的晶圓承載裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6919109

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本實用新型涉及一種承載裝置,特別是一種周壁設(shè)有從動件的晶圓承載裝置。背景技術(shù)太陽能為極重要的替代能源,通過轉(zhuǎn)換太陽光能為電能,提供人類潔凈無 污染的能源,光-電轉(zhuǎn)換的重要部件即為太陽能電池晶圓,其外觀如圖l所示, 常見外觀如圖l所示的矩形薄片狀,還有的產(chǎn)品具有四個角落呈倒角的型態(tài), 無論如何,太陽能已為人類實現(xiàn)能源新希望。太陽能電池晶圓制造過程中,在攜行復(fù)數(shù)晶圓時,需利用合適的容器裝載,如圖2所示,為常見的承載器2,于承載器2上方預(yù)置一片保護(hù)版10后,即可...
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