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氣化裝置、成膜裝置、成膜方法、計(jì)算機(jī)程序以及存儲(chǔ)介質(zhì)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6920957

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本發(fā)明涉及對(duì)被處理體供給使液體材料氣化的氣體材料,進(jìn)行成膜處理的技術(shù)。特別是涉及使液體材料氣化的技術(shù)。背景技術(shù)作為半導(dǎo)體制造流程之一,有在半導(dǎo)體晶片(以下稱做"晶片")W的表面上形成規(guī)定的膜的成膜工序,在該成膜工序中,將使液體材料氣化而得到的原料氣體作為成膜氣體導(dǎo)入裝置內(nèi)。作為用氣化所述液體材料得到的原料氣體進(jìn)行成膜處理的例子,有用氣化TEOS(TetraEthoxySilane)得到的處理氣體和氧氣(02)形成Si02膜的例子,也有用氣化Si2Cl6得到...
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