技術(shù)編號：6921396
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及有機絕緣材料、使用該有機絕緣材料的有機絕緣膜用清漆、 有機絕緣膜及半導體裝置。背景技術(shù)近年來，在電子材料領域中，隨著半導體裝置的高積層化、高速化及高 性能化的發(fā)展，因半導體積層電路的布線之間電阻的增加或因電容量的增加 引起的延遲時間成為大問題。為了減少該延遲時間，使半導體裝置進一步高 速化，必須將低介電常數(shù)的絕緣膜用于電路中。另外，由于制造半導體裝置 時的工序中包括加熱工序，要求所述絕緣膜具有高耐熱性。因此，希望開發(fā) 出同時具有低介電常數(shù)和高耐熱...
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