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技術(shù)編號：6921694

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本發(fā)明關(guān)于一種基板處理設(shè)備，且尤其關(guān)于一種用以在基板處理設(shè)備 中支持基板的基板支持框架，及包含此支持框架的基板處理設(shè)備和利用此 支持框架裝載與卸載基板的方法。背景技術(shù)為了因應(yīng)化石燃料的耗盡并防止環(huán)境污染，如太陽能的潔凈能源已受 到矚目。尤其，用來將太陽能轉(zhuǎn)換成電能的太陽能電池已快速地發(fā)展。在可為硅晶圓或玻璃基板上的PN(positive-negative,正-負(fù))接合二 極體或PIN (positive-intrinsic-negative, 正-本-負(fù))...
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