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用于baw諧振器的壓電ain的沉積的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6923712

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本發(fā)明涉及BAW(體聲波)諧振器領(lǐng)域。背景技術(shù)壓電諧振器常用于信號(hào)濾波和基準(zhǔn)振蕩器。這些諧振器通常被稱為BAW(體聲波諧振器)。相同或相似器件的其他縮寫(xiě)包括FBAR (膜體聲波諧振器)或SMR (固態(tài)裝配型諧振器)或TFR(薄膜諧振器)或SCF(疊層晶體濾波器)。 在限制能量損失方面諧振器必須盡量高效。這些器件并不是新出現(xiàn)的并且在文獻(xiàn)中被很好的引證。 標(biāo)準(zhǔn)IC制備方法被用作基本制造順序,包括沉積、光刻和蝕刻工藝。也可以采用MEMS技術(shù)以進(jìn)行封裝和與襯底進(jìn)行...
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