技術(shù)編號：6924280
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于檢測半導(dǎo)體的設(shè)備和方法，并且更具體而言，涉及能夠減少接觸探針引腳的數(shù)目并且能夠執(zhí)行批量檢測晶片的半導(dǎo)體檢測設(shè)備和方法，以及被檢測半導(dǎo)體 器件。背景技術(shù)近年來，對更高密度半導(dǎo)體設(shè)備和高速大容量傳輸?shù)男枨笱杆僭黾?。電極端子數(shù) 目的增加尤其突出，并且對于在區(qū)域中和區(qū)域周圍布置的電極，間距減小的情況正快速升 級。在上述情況下，檢測具有精細(xì)間距電極的半導(dǎo)體器件的技術(shù)正成為一種關(guān)鍵的技 術(shù)。特別是在半導(dǎo)體器件制造中，如何實(shí)施在晶片狀態(tài)下的器件的電檢測的晶...
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