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半導(dǎo)體發(fā)光元件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6925441

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本發(fā)明涉及一種具有脊條狀部結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體發(fā)光元件。 背景技術(shù)以往,在具有脊條狀部結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體發(fā)光元件的例子中,一般制作有脊?fàn)畈▽?dǎo)型 半導(dǎo)體激光元件。該半導(dǎo)體激光元件一般包括通過(guò)η型與P型包層來(lái)夾著活化層的雙異質(zhì) 結(jié)構(gòu),蝕刻P型包層的局部而形成脊條狀部(例如,參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1、2、3)。例如,如圖12所示,由氮化物構(gòu)成的脊?fàn)畈▽?dǎo)型半導(dǎo)體激光元件,在導(dǎo)電性基板 21上依次迭層有η型GaN層22、η型AlGaN層23、活化層24、ρ型AlGaN層25,干蝕刻ρ型 A...
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