技術編號：6926844
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及，尤其是涉及在基板上形成 有半導體元件層的半導體元件以及其制造方法。 背景技術歷來眾所周知作為在基板上形成有半導體元件層的半導體元件有 發(fā)光二極管元件或半導體激光元件等。此已在例如特開平11一21479 號公報上公開。在上述特開平11一214798號公報上公開了在氮化物類半導體基板 上形成有多個氮化物類半導體層的氮化物類半導體激光元件。具體講， 在上述特開平11一21479S號公報上公開的氮化物類半導體激光元件 上，在n型GaN基板上順序形成n型...
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