技術編號：6929090
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種半導體元件的制造方法，尤其涉及TFT陣列基板制造方法。 背景技術現(xiàn)在的液晶顯示器主要以薄膜晶體管液晶顯示器(TFT LCD)為主流，TFT LCD (Thin Film Transistor Liquid Crystal Display)的一般結構是具有彼此相對的TFT陣列基 板和彩膜基板，在兩個基板之間設置襯墊料以保持盒間隙，并在該盒間隙之間填充液晶。目前量產(chǎn)的TFT陣列基板大多至少需要四輪光罩工序。圖1為采用四道光罩工序制 造的現(xiàn)有技術T...
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