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技術(shù)編號：6929173

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本發(fā)明涉及一種發(fā)光二極管的芯片及其制造方法，特別涉及一種用集成機(jī)械研 磨、化學(xué)機(jī)械拋光和濕法腐蝕剝離方法制造的發(fā)光二極管芯片及其制造工藝。背景技術(shù)GaN基藍(lán)光、藍(lán)綠光發(fā)光二極管(LED)廣泛應(yīng)用在儀表指示燈、大尺寸LED背光源、 電子廣告牌以及各種照明設(shè)備中。由于GaN晶體結(jié)構(gòu)、生長條件等方面的限制，生長GaN基 LED外延層時，主要選擇藍(lán)寶石作為襯底。由于藍(lán)寶石的電導(dǎo)率和熱導(dǎo)率差，導(dǎo)致GaN基LED 制作工藝復(fù)雜、散熱差、壽命短，因此限制了高亮度LED的...
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