技術(shù)編號(hào):6929177
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,尤其涉及晶圓在線檢測(cè)方法及系統(tǒng)。 背景技術(shù)半導(dǎo)體制造過程中,晶圓由一系列處理站點(diǎn)順次處理,并最終形成半導(dǎo)體產(chǎn)品,所 述處理站點(diǎn)包含一個(gè)或多個(gè)處理機(jī)臺(tái),由機(jī)臺(tái)對(duì)晶圓進(jìn)行工藝處理。在處理站點(diǎn)間包含有 檢測(cè)站點(diǎn),以對(duì)檢測(cè)站點(diǎn)前處理過的部分晶圓進(jìn)行檢測(cè),由于該檢測(cè)是在產(chǎn)品生產(chǎn)過程中 進(jìn)行,因此稱為在線檢測(cè),其中進(jìn)入檢測(cè)站點(diǎn)檢測(cè)的晶圓數(shù)目可以預(yù)先設(shè)定,該數(shù)目需小于 或等于檢測(cè)站點(diǎn)的吞吐量,即檢測(cè)站點(diǎn)在單位時(shí)間內(nèi)能夠檢測(cè)的最大晶圓數(shù)目。業(yè)界通...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。