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Sonos快閃存儲器單元及其形成方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6929751

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本發(fā)明涉及一種快閃存儲器,尤其涉及一種電荷陷阱單元(S0N0S)快閃存儲器及 其形成方法。背景技術(shù)通常,用于存儲數(shù)據(jù)的半導(dǎo)體存儲器分為易失性存儲器和非易失性存儲器,易失 性存儲器易于在電源中斷時丟失其數(shù)據(jù),而非易失性存儲器即使在供電電源關(guān)閉后仍能保 持片內(nèi)信息。與其它的非易失性存儲技術(shù)(例如,磁盤驅(qū)動器)相比,非易失性半導(dǎo)體存儲 器具有成本低、密度大的特點。因此,非易失性存儲器已廣泛地應(yīng)用于各個領(lǐng)域,包括嵌入 式系統(tǒng),如PC及外設(shè)、電信交換機、蜂窩電話、網(wǎng)...
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