技術編號:6930313
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種摻雜技術,特別是。 背景技術為了改善二氧化釹納米管陣列的光電性質(zhì),常采用摻雜的方法,在納 米管陣列上進行金屬摻雜、非金屬摻雜或者金屬和非金屬的共摻雜。目前 己知的摻雜方法有離子注入法、化學氣相沉積法和溶液中浸泡再煅燒法。 前兩種摻雜方法均需要昂貴的設備,而后者的浸泡時間較長, 一般需l-2 天,生產(chǎn)效率低,而且摻雜量也不理想。 發(fā)明內(nèi)容-本發(fā)明的目的是提供一種成本低、摻雜效率高的二氧化鈦納米管陣列 慘雜方法。本發(fā)明的技術解決方案是一種, ...
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