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薄膜晶體管及顯示裝置的制作方法技術資料下載

技術編號:6933061

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本發(fā)明涉及薄膜晶體管以及使用該薄膜晶體管工作的顯示裝置。 背景技術作為場效應晶體管的一種,已知有使用形成在具有絕緣表面的襯底上的半 導體層來形成溝道區(qū)域的薄膜晶體管。已公開有使用非晶硅、微晶硅及多晶硅 作為用于薄膜晶體管的半導體層的技術(參照專利文獻1至5)。薄膜晶體管的典 型應用例為液晶電視裝置,并且作為構成顯示屏幕的各像素的開關晶體管而實 現(xiàn)實用化。專利文獻l日本專利特開2001-053283號公報 專利文獻2日本專利特開平5-129608號公報 專利...
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