技術(shù)編號：6933068
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種基板處理裝置，所述基板處理裝置用于處理例如半導(dǎo)體晶片、液晶顯示裝置用基板、等離子顯示器用玻璃基板、FED (FieldEmission Display場發(fā)射顯示器)用基板、光盤用基板、磁盤用基板、光磁盤用基板、 光掩模用基板等的基板。背景技術(shù)在半導(dǎo)體裝置或者液晶顯示裝置的制造工序中，為了利用處理液對半導(dǎo) 體晶片或者液晶顯示板用玻璃基板等基板實施處理，往往使用一張一張地處 理基板的單張式的基板處理裝置。在這種基板處理裝置中，為了降低處理液 的消...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。