技術(shù)編號(hào)：6933582
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及對(duì)液晶顯示裝置(LCD)等平板顯示器(FPD)制造用 的玻璃基板等基板實(shí)施干蝕刻等處理的基板處理裝置。背景技術(shù)在以液晶顯示器(LCD)為代表的平板顯示器(FPD)的制造過程 中具有在真空下對(duì)在玻璃基板上形成的規(guī)定的膜進(jìn)行等離子體蝕刻的 處理。作為對(duì)這樣的玻璃基板進(jìn)行等離子體蝕刻處理的基板處理裝置， 在能夠保持真空的腔室內(nèi)配置作為下部電極起作用的基板載置臺(tái)以及 與該載置臺(tái)相對(duì)并作為上部電極起作用的氣體導(dǎo)入用的噴淋頭，在下 部電極上連接有施加高頻電力...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。