技術(shù)編號(hào)：6935484
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種干蝕刻裝置，尤其是， 一種能夠在基板表面上形成均勻 圖案的干蝕刻裝置。背景技術(shù)具有半導(dǎo)體特性的太陽能電池可將光能轉(zhuǎn)化為電能。下面對(duì)根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的太陽能電池的構(gòu)造和原理進(jìn)行簡要介紹。太陽能 電池以P型半導(dǎo)體與N型半導(dǎo)體結(jié)合在一起的PN結(jié)的構(gòu)造形成。當(dāng)太陽光 線照射在具有PN結(jié)構(gòu)造的太陽能電池上的時(shí)^f夷，由于太陽光線的能量而在 該半導(dǎo)體上生成空穴(+ )和電子(-)。由于在PN結(jié)的區(qū)域產(chǎn)生了電場， 空穴(+ )向P型半導(dǎo)體漂移，電子(-)向N型...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。