技術(shù)編號：6936131
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體元件的制造，特別涉及一種用以校正和對準(zhǔn)晶片輸送系統(tǒng) 的方法和裝置。背景技術(shù)在半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)中，機(jī)械設(shè)備(robotics)常被用來在廠區(qū)內(nèi)輸送半導(dǎo)體晶片， 例如基板。一般的晶片盒(wafer cassette)用以保存被大量且整體地交付的多個晶片。在 整個晶片的制造過程中，晶片必須多次的從晶片盒中被取出或被置入晶片盒中。有多種機(jī) 械式的晶片輸送系統(tǒng)會被使用到。在很多情況中，當(dāng)半導(dǎo)體晶片進(jìn)出晶片盒的輸送發(fā)生時， 晶片盒被設(shè)置于如前開式晶片...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。