技術(shù)編號：6936584
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體元件，特別涉及一種半導(dǎo)體元件的柵極結(jié)構(gòu)及其制造方法。背景技術(shù)隨著半導(dǎo)體的制造技術(shù)朝向尺寸縮減邁進，在某些集成電路(IC)設(shè)計上，希望將 一般所使用的多晶硅柵極以金屬柵極取代，由此在尺寸縮減的情況下可增加元件的效能， 金屬柵極結(jié)構(gòu)(例如包括金屬柵極而不是多晶硅柵極)的提供可對半導(dǎo)體元件的尺寸縮減 提供一解決方法。金屬柵極堆疊的工藝稱為后柵極(gate last)工藝，其最終的柵極堆疊 在最后制造，可以減少后續(xù)工藝的步驟，后續(xù)工藝包含高溫工...
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