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技術(shù)編號：6941802

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本發(fā)明屬于半導(dǎo)體發(fā)光器件及其制備，特別是涉及基于ZnO基材料的發(fā)光器件結(jié)構(gòu)及其制作方法。背景技術(shù)GaN系材料在固態(tài)照明領(lǐng)域有更廣泛的應(yīng)用前景。ZnO和GaN的能帶間隙和晶格常數(shù)十分接近，有相近光電特性。但是，與GaN相比，ZnO具有更高的熔點和激子束縛能、激子增益更高、外延生長溫度低、成本低、容易刻蝕而使對外延片的后道加工更容易，使器件的制備更方便等等。因此，ZnO基發(fā)光管、激光器等研制成功有可能取代或部分取代GaN基光電器件，會有更大的應(yīng)用前景，特別是Z...
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