技術編號：6942312
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及半導體制造工藝領域，尤其涉及一種背景技術半導體工藝領域保證和評價半導體元器件質量和可靠性的傳統(tǒng)方法是(1)常規(guī)測試、檢驗，包括生產過程中的工藝監(jiān)測、產品出廠前的篩選測試、產品交付時的批接收抽樣檢驗。( 可靠性壽命試驗。( 現場使用數據積累。(4)整機廠對采購半導體元器件的再篩選。這些傳統(tǒng)方法的實質是以“合格”為中心的“事后檢驗”。隨著目前半導體工藝的元器件水平的提高，當半導體元器件的可靠性等級優(yōu)于六級以后，可靠性壽命試驗這條路已經越來越難以實現。...
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