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一種新型的相變存儲(chǔ)器單元結(jié)構(gòu)及制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6943633

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本發(fā)明涉及納米半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件領(lǐng)域,是??捎糜趯?duì)相變存儲(chǔ)器的實(shí)驗(yàn)研究,有利于提高相變存儲(chǔ)器的性能。同時(shí),此種相變存儲(chǔ)器也可以作為未來(lái)相變存儲(chǔ)器大規(guī)模生產(chǎn)的單元結(jié)構(gòu)的原型。背景技術(shù)近年來(lái),隨著信息存儲(chǔ)技術(shù)的不斷發(fā)展,人們對(duì)信息存儲(chǔ)器件的存取速度和容量以及保存時(shí)間的要求越來(lái)越高。隨著存儲(chǔ)器件的尺寸規(guī)模的不斷縮小,目前傳統(tǒng)的利用貯存電荷存儲(chǔ)信息的存儲(chǔ)器件越來(lái)越受到挑戰(zhàn),當(dāng)傳統(tǒng)的動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)器(DRAM),靜態(tài)存儲(chǔ)器 (SRAM)以及閃存(Flash memory)的存...
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