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集成電路晶圓切割方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6944554

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本發(fā)明是關(guān)于一種,其中可通過形成集成電路晶粒。背景技術(shù)硅晶圓是目前制作集成電路的基底材料(Substrate),通過集成電路制造技術(shù),經(jīng)過一系列繁復(fù)的化學(xué)、物理和光學(xué)程序,完成的集成電路晶圓上可產(chǎn)生出數(shù)以千、百計(jì)的晶粒(die)。這些晶粒經(jīng)由測(cè)試、切割、封裝等過程,可進(jìn)一步成為一顆顆具有各種功能的集成電路產(chǎn)品。如圖IA及圖IA中區(qū)域80的PP切面放大的圖IB所示的已知技術(shù),已知集成電路晶圓90包含晶圓基板100、復(fù)數(shù)個(gè)集成電路300、復(fù)數(shù)個(gè)測(cè)試鍵400及保...
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