技術(shù)編號：6944578
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及，更具體地，涉及垂直集成MEMS開 關(guān)、設計結(jié)構(gòu)以及制造這種垂直開關(guān)的方法。背景技術(shù)在3D和其他集成電路中使用的集成電路開關(guān)可以由固態(tài)結(jié)構(gòu)(例如，晶體管)或 無源布線(MEMS)形成。典型地采用MEMS開關(guān)，這是因為其基本理想的隔離(這是對用于 功率放大器的模式切換的無線射頻應用的關(guān)鍵要求)以及其在10GHz和更高的頻率下的低 插入損耗(即，電阻)。MEMS開關(guān)可用于各種應用，主要為模擬和混合信號應用。一個這樣 的實例為包含功率放大器(PA)和為...
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