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能夠進(jìn)行光刻處理的金屬光學(xué)濾波器及包括該濾波器的圖像傳感器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6945308

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本發(fā)明涉及一種能夠進(jìn)行光刻處理的金屬光學(xué)濾波器以及包括該金屬光學(xué)濾波 器的圖像傳感器,更具體地涉及一種能夠進(jìn)行光刻處理的金屬光學(xué)濾波器以及包括金屬光 學(xué)濾波器的圖像傳感器,其中,即使該金屬光學(xué)濾波器具有較少數(shù)量的金屬層也能夠自由 地調(diào)節(jié)其透射帶及透射率,同時因為可以通過光刻處理實現(xiàn)納米構(gòu)圖,所以該金屬光學(xué)濾 波器能夠?qū)嶋H應(yīng)用到CMOS處理中。背景技術(shù)一般來說,光學(xué)濾波器是通過堆疊兩種或兩種以上具有不同折射率的電介質(zhì)材料 這種方式制造而成的。具體地,光學(xué)濾波...
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