技術(shù)編號：6948647
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及集成電路制造領(lǐng)域，特別是涉及一種四邊形平面螺旋電感。 背景技術(shù)在CMOS射頻集成電路(RFIC)的發(fā)展中，最為迫切的和最困難的是要發(fā)展高性能 的新器件和新的單元電路，它們是實現(xiàn)單片CMOS集成射頻前端的基礎(chǔ)。平面螺旋電感作 為射頻集成電路中的關(guān)鍵元件，如放大器、混頻器、壓控振蕩器等重要子單元中都要用到電 感，是電路中最難設(shè)計和掌握的元件，它的性能參數(shù)直接影響著射頻集成電路的性能。片 上電感能實現(xiàn)射頻集成電路中電感的集成化問題，從而有助于射頻集成電...
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