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表面發(fā)射激光器、其制造方法和圖像形成裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6949604

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本發(fā)明涉及表面發(fā)射激光器、表面發(fā)射激光器的制造方法和圖像形成裝置。 背景技術(shù)垂直腔表面發(fā)射激光器(VCSEL)是能夠沿與基板表面垂直的方向發(fā)光的表面發(fā) 射激光器,并具有可容易地形成二維陣列的特征??赏ㄟ^對(duì)從二維陣列發(fā)射的多個(gè)光束的并行處理實(shí)現(xiàn)高密度化和高速化,并且, 可以期望諸如光學(xué)通信的各種工業(yè)應(yīng)用。例如,當(dāng)表面發(fā)射激光器陣列被用作電子照相打 印機(jī)的曝光光源時(shí),可在通過使用多個(gè)光束形成圖像的步驟中實(shí)現(xiàn)高密度化和高速動(dòng)作。在這種電子照相應(yīng)用中,必須在感光鼓...
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