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技術(shù)編號：6952596

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本發(fā)明涉及一種集成電路加工制造工藝，尤其涉及一種。背景技術(shù)在集成電路加工制造過程中，晶圓(wafer)的加工工藝處于最為核心和關(guān)鍵的地位，晶圓加工工藝的質(zhì)量對于最終得到的門電路的工作性能具有決定性的影響。其中制造淺溝槽隔離結(jié)構(gòu)(Shallow Trench Isolation, STI)是晶圓的前端加工工藝流程中不可缺少的一道工序。由于淺溝槽隔離(Shallow Trench Isolation, STI)接近零的橫向侵蝕，對于深亞微米(De印-Submi...
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