技術(shù)編號：6954485
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于利用處理液對基板實(shí)施液體處理的基板液體處理裝置、基板 液體處理方法以及記錄有基板液體處理程序的計算機(jī)可讀取記錄介質(zhì)。背景技術(shù)以往，在制造半導(dǎo)體部件、平板顯示器等的情況下，使用基板液體處理裝置來利用 清洗劑、蝕刻劑等處理液對半導(dǎo)體晶圓、液晶基板等基板進(jìn)行清洗處理、蝕刻處理。在該基板液體處理裝置中，由于處理液的帶電、可動部的摩擦等各種原因，有時在 利用基板液體處理裝置進(jìn)行處理的基板、構(gòu)成基板液體處理裝置的部件等中由于靜電而帶 有電荷。并且，當(dāng)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。