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具有多芯片結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體集成電路的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6955520

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本發(fā)明的示例性實(shí)施例涉及具有多芯片結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體集成電路,更具體而言,涉及其中每一個(gè)半導(dǎo)體芯片的內(nèi)部電路串聯(lián)耦接至貫穿硅通孔(TSV)的半導(dǎo)體集成電路。背景技術(shù)在半導(dǎo)體工業(yè)中,正在不斷開發(fā)集成電路的封裝技術(shù)以滿足對小型化和安裝可靠性的需求。例如,對小型化的需求已經(jīng)促使對具有接近于芯片尺寸的封裝的加速開發(fā),而對安裝可靠性的需求強(qiáng)調(diào)了能夠提高安裝操作的效率和安裝后的機(jī)械及電氣可靠性的封裝技術(shù)的重要性。此外,伴隨著電氣及電子產(chǎn)品的小型化,還要求電氣及電子產(chǎn)品的高性...
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