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技術(shù)編號(hào)：6958227

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本發(fā)明涉及微電子，尤其涉及一種離地剝離的方法和TFT陣列基板的制作方法。背景技術(shù)離地剝離(Lift Off)技術(shù)是用光刻膠(Photoresist，PR)掩膜進(jìn)行圖形制備的關(guān)鍵技術(shù)。Lift off技術(shù)是指，在光刻膠的剝離過(guò)程中，將光刻膠和光刻膠上所沉積薄膜一起剝離而不撕裂或損壞基板上的薄膜圖形的剝離技術(shù)，在半導(dǎo)體微電子等領(lǐng)域中具有廣泛的應(yīng)用。以 TFT LCD (Thin Film Transistor Liquid Crystal Display，薄膜...
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