技術編號：6959380
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及集成電路制造，尤其涉及。 背景技術在集成電路制造工藝中，為滿足集成電路對金屬導線電阻大小的要求，在金屬層刻蝕之后通常還會包括金屬導線尺寸監(jiān)測步驟。在金屬導線尺寸監(jiān)測步驟中，獲取金屬導線的寬度和厚度，并計算出金屬導線的橫截面積。金屬導線的橫截面積直接的影響了其電阻大小，其橫截面積越大則電阻越小，橫截面積越小則電阻越大。因此，可以通過監(jiān)測并調整金屬導線的尺寸實現(xiàn)調整金屬導線的電阻大小?，F(xiàn)有的為測量金屬導線頂部的寬度并測量金屬導線的厚度，以金屬導線頂部...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。