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P型超結橫向雙擴散金屬氧化物半導體管的制作方法技術資料下載

技術編號:6959802

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本發(fā)明涉及一種硅制高壓功率金屬氧化物半導體器件,更準確的講,涉及一種硅 制高壓P型超結橫向雙擴散金屬氧化物半導體晶體管。背景技術目前,功率器件在日常生活、生產(chǎn)等領域的應用越來越廣泛,特別是功率金屬氧化 物半導體場效應晶體管,由于它們擁有較快的開關速度、較小的驅動電流、較寬的安全工作 區(qū),因此受到了眾多研究者們的青睞。功率集成電路中集成的功率器件主要有橫向絕緣柵 雙極型晶體管和橫向雙擴散半導體金屬氧化物晶體管。盡管橫向絕緣柵雙極型晶體管的電 流驅動能力比較強...
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