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半導(dǎo)體器件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6961113

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本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件,特別地涉及一種具有源區(qū)及漏區(qū)夾持形成為柵格狀 的柵電極彼此相鄰地配置的晶體管的半導(dǎo)體器件。背景技術(shù)已知過去為了提高每單位面積的柵寬度(GW)的效率,而將柵電極形成為柵格狀 的MOS晶體管(例如,參照非專利文獻(xiàn)1)。將此MOS晶體管稱為柵格狀(方格花紋)晶體管。圖1示出現(xiàn)有的柵格狀晶體管1的示意性平面結(jié)構(gòu)。柵格狀晶體管1包括形成 為柵格狀的柵電極2、和被柵電極2包圍的擴(kuò)散區(qū)。為了提高電路的精細(xì)密度,擴(kuò)散區(qū)采用 正方形的形狀。擴(kuò)散區(qū)構(gòu)...
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