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具有面內耦合的混合硅垂直腔激光器的制作方法技術資料下載

技術編號:6961242

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本發(fā)明的實施例針對垂直腔(cavity)激光器,更具體來說,針對在面內 (in-plane)基于波導光子集成電路中使用的混合硅/III-V垂直腔激光器結構。背景技術雖然硅是引導光線的優(yōu)良材料并且能以高數據速率檢測和調制光線,但它仍然不 能有效地生成大量的光線。硅由于稱作間接帶隙(bandgap)的基本限制而可能是低效發(fā)光 體。間接帶隙阻止硅中原子在施加電荷時發(fā)射大量光子。硅反而趨向于發(fā)射熱量。在硅材料上生成光線的一種方式是所謂的混合硅短暫(evanesce...
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