技術(shù)編號：6968287
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及集成電路制造領(lǐng)域，尤其涉及一種用于定義宏觀可見缺陷所在的 單元芯片位置的輔助定位裝置。背景技術(shù)由于硅片尺寸的不斷增大和集成電路(IC)圖形特征尺寸的急劇縮小，芯片結(jié)構(gòu) 更加復(fù)雜，缺陷密度對成品率的影響變得越來越突出。芯片生產(chǎn)的每道工序都可能機械或 人為地引入缺陷和沾污。這類問題如果不及時發(fā)現(xiàn)并加以解決，就會導(dǎo)致生產(chǎn)線成品率大 幅度下降。因此，在目前的出貨流程中，需要對晶片的正面進行宏觀目檢，以便及時發(fā)現(xiàn)晶 片上的一些明顯缺陷。但是由于晶片是在...
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