技術編號：6982293
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及一種等離子體處理裝置，特別涉及一種利用高頻的等離子體源的 等離子體處理裝置。背景技術目前，在制作太陽能電池的過程中，通常將硅片放置在電容耦合式的等離子體處 理裝置的反應腔的下電極上，通過在下電極或與其對應設置的上電極之間形成電場，將引 入反應腔的反應氣體電離形成其等離子體。或是在電感耦合等離子體處理裝置的反應腔的 頂板外側設置若干線圈，通入交變電流后產生一個感應電場，將引入的反應氣體解離形成 其等離子體。通過該反應氣體的等離子體對硅片進行制絨...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。