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用于搬運(yùn)晶片的系統(tǒng)和方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6987630

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本申請(qǐng)大體上涉及在制造環(huán)境中的薄晶片的搬運(yùn),更具體而言,涉及用于在擴(kuò)散爐過程中裝載和卸載的太陽能電池晶片的搬運(yùn)。背景技術(shù)在制造中,薄且脆弱的材料(本文稱為“晶片”)的搬運(yùn)會(huì)由于材料和時(shí)間的損耗而非常困難,而當(dāng)晶片在制造過程中破損時(shí)就會(huì)出現(xiàn)這種損耗。晶片可以是各種材料,然而,晶片的一個(gè)特殊示例為硅晶片,例如使用在電子工業(yè)、太陽能和其他應(yīng)用中的硅晶片。太陽能電池晶片是脆弱的薄的平面形的晶片,其典型地由諸如硅、砷化鎵或類似物的半導(dǎo)體材料制成。為了增加效率和減少材...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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