技術編號：6987646
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種將圖案形成裝置裝載到光刻系統(tǒng)的掩模板平臺上的方法、一種配置成將圖案形成裝置裝載到光刻系統(tǒng)的掩模板平臺上的快速交換裝置(RED)和一種用于以光刻方法制造半導體器件的系統(tǒng)。背景技術光刻術被廣泛地公認為制造集成電路(IC)以及其它器件和/或結構中的關鍵過程。光刻設備是在光刻期間使用的機器，其將期望的圖案施加到襯底(諸如襯底的目標部分)上。在用光刻設備制造IC的期間，可替代地被稱作為掩模或掩模板的圖案形成裝置產(chǎn)生了將形成在IC中的單個層上的電路圖案。...
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