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混合垂直腔激光器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6987804

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本發(fā)明涉及提供光至與成熟硅加工技術(shù)相容的硅平臺(silicon platform)上的光子回路(Photonic Circuit)。尤其,本發(fā)明涉及通過使用光柵鏡(Grating-Mirror)垂直腔激光器(Vertical-Cavity Laser)提供光至此種回路。背景技術(shù)在硅基光子回路中集成微小且高效電泵浦(electrically pumped)光源的挑戰(zhàn)是熟知的。Gunn (Photonics Spectra,2006年3月,第62-67頁)描述...
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