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用于產(chǎn)生針對(duì)晶片的檢查過(guò)程的方法和系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6988348

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本發(fā)明總體涉及用于產(chǎn)生針對(duì)晶片的檢查過(guò)程的方法和系統(tǒng)。某些實(shí)施方案涉及基于針對(duì)晶片的設(shè)計(jì)內(nèi)的不同部位(different locations)確定的局部屬性(local attribute)來(lái)確定檢查過(guò)程的靈敏度。2.相關(guān)技術(shù)的描沭下面的描述和實(shí)施方案憑借其在這部分內(nèi)的包含內(nèi)容而不被承認(rèn)是現(xiàn)有技術(shù)。構(gòu)造諸如邏輯或存儲(chǔ)器件之類(lèi)的半導(dǎo)體器件的步驟通常包括使用大量的半導(dǎo)體構(gòu)造工藝來(lái)加工諸如半導(dǎo)體晶片之類(lèi)的襯底,以形成半導(dǎo)體器件的各種特征和多個(gè)層。例如,光刻是涉及...
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