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等離子體產(chǎn)生裝置和方法以及rf驅(qū)動器電路的制作方法技術資料下載

技術編號:6989586

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本發(fā)明一般涉及等離子體產(chǎn)生系統(tǒng)的設計和實施。更具體地說涉及射頻放大器、天線和用于干擾該放大器和天線以產(chǎn)生等離子體的有效電路連接。背景技術 等離子體一般被認為是物質(zhì)的第四種狀態(tài),其他的狀態(tài)是固態(tài)、液態(tài)和氣態(tài)。在等離子體態(tài)中,物質(zhì)的基本構成基本上處于使得它們應用于許多領域的電離的形式,除了其他因素之外,這是因為它們增強的反應性、能量以及用于形成定向光束的適用性。等離子體產(chǎn)生器通常使用在電子部件、集成電路以及醫(yī)療設備的制造中,并且用在各種商品和機器的工作中。例如...
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