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金屬銅膜及其制造方法、金屬銅圖案及使用了其的導(dǎo)體布線、金屬銅凸塊、導(dǎo)熱路徑、粘合 ...的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6990224

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本發(fā)明涉及通過(guò)甲酸或者甲醛的氣體處理而得到的金屬銅膜及其制造方法、金屬銅圖案及使用了其的導(dǎo)體布線、金屬銅凸塊、導(dǎo)熱路徑、粘合材料、以及用于形成金屬銅膜的液狀組合物。背景技術(shù)金屬銅具有高導(dǎo)電性和導(dǎo)熱性,被廣泛用作導(dǎo)體布線材料、傳熱材料、換熱材料、 放熱材料。另一方面,噴墨、噴射分配(jet dispenser)、針頭分配(needle dispenser)、分配 (dispenser)、有版印刷由于能夠在不使用光致抗蝕工藝的條件下將液狀的材料涂布成任意形狀,...
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